空气质量流量计(简称 MFM)用于精确测量气体质量流量。
气体质量流量控制器(简称 MFC)用于精确测量和控制气体质量流量。
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什么是质量流量计?
空气质量流量计,也称为质量流量计(简称 MFM),是一种用于精确测量气体流量的仪器。测量值不会因温度或压力波动而产生误差,也无需进行温度压力补偿。
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什么是质量流量控制器?
质量流量控制器(简称 MFC)不仅具备质量流量计的功能,更重要的是,它还能自动控制气体流量。也就是说,用户可以根据需要设定流量,MFC 会自动将流量保持在设定值。即使系统压力波动或环境温度变化,流量也不会偏离设定值。
简而言之,质量流量控制器是一种稳流装置。它是一种气体稳流装置,既可以手动设置,也可以连接计算机进行自动控制。
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质量流量计的作用是什么?

工业空气 质量流量计是一种用于测量工业气体管道流量的流量计。它直接测量流经流量计的介质的质量流量,还可以测量介质的 密度 ,并间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪器,因此可以基于上述三个基本量导出十几个参数供用户使用。
质量流量计配置灵活、功能强大、性价比高,是新一代流量计。
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质量流量控制器的工作原理是什么?
质量流量控制器由流量传感器、分流通道、流量调节阀和放大控制器组成。
流量传感器利用毛细管传热测温原理测量气体的质量流量(不进行温度和压力补偿)。
传感器加热桥测得的流量信号被送至放大器进行放大。放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,差值信号再次放大以控制调节阀。闭环控制通道流量,使其等于设定流量。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显示仪表配备有稳压电源和数字电压表。此外,还配备设定电位器、外围设备、内置转换器和三位阀控开关等。
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如何理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位?
气体质量流量单位通常以 sccm(标准立方厘米/分钟,标准毫升/分钟)和 slm(标准升/分钟,标准升/分钟)表示。
这意味着在不同使用条件下,指示的流量是标准状态下的流量。
标准状态要求为:气压 101325 Pa (760 mmHg);温度 0℃ (273.15 K)。这是该流量计与其他流量计的重要区别,也是 sccm 和 slm 与 mL/min 和 L/min 的区别。
对于大多数用户来说,体积流量的表示方法非常习惯,也易于使用。但也有一些用户需要知道单位时间内介质的质量流量(例如 g/min)。这种需求很容易实现,因为标准状态下的气体密度是恒定的。很容易计算,只需进行简单的乘法运算(将密度乘以几个标准升/分钟)即可实现。因此,标准状态下的体积流量等于质量流量。
何时使用质量流量计,何时使用质量流量控制器?
一般来说,如果只是测量或监测流量,则使用质量流量计。
如果需要控制流量,则使用质量流量控制器。
在某些测量场合,两者都可以使用。例如,测量毛细管的流量时,在恒压下测量流量时,使用质量流量计。
在恒流下测量压力时,则需要使用质量流量控制器。
需要注意的是,当质量流量控制器处于清洁状态时,它也可以用作质量流量计。只是此时的压降会比普通质量流量计大。
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质量流量计/质量流量控制器的主要优势是什么?
(1) 流量测量 和控制不受温度或压力波动的影响。
对于大多数流量测量和控制系统而言,系统压力波动以及环境和介质温度变化难以避免。对于普通流量计,压力和温度波动会导致较大的误差。而对于质量流量计/质量流量控制器,这些影响通常可以忽略不计。
(2) 测量控制自动化
质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值输出为标准电信号。
这样,就可以轻松实现流量的数字显示、累计流量的自动测量、自动数据记录、计算机管理等功能。
对于质量流量控制器,还可以实现自动流量控制。
通常,模拟式质量流量计/质量流量控制器的输入输出信号为0~+5V或4~20mA,而数字式质量流量计/质量流量控制器还配备RS232或RS485数字串口。它可以轻松连接到计算机进行自动控制。
(3) 精确控制流量
质量流量控制器可以精确控制给定的气体流量。这对于许多工艺流程中的流量控制以及不同气体的比例控制尤为有用。
(4) 应用范围广
- 我们的产品工作压力范围宽广,从真空到 10MPa 均可适用。
- 可应用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,例如 HCl)。
- 流量范围宽广。我们产品的最小流量范围可达 0~5 sccm,最大流量范围可达 0~200 slm。
- 流量显示分辨率可达满量程的 0.1%。
- 流量控制范围为满量程的 2%~100%(量程比为 -50:1)。因此,它被广泛应用于许多领域。
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质量流量计有哪些缺点?使用质量流量控制器有哪些顾虑?
相对于价格低廉的转子流量计,质量流量计的主要缺点是价格相对较高。
使用质量流量控制器时主要有四点顾虑:
第一点是灰尘。如果灰尘进入流量计,会堵塞传感器和分流器,导致测量误差。因此,需要在进气口安装过滤器;
第二点是液体和油进入质量流量控制器。这会导致失控。如果质量流量控制器的出口连接到液体储罐,则必须在出口处加装止回阀,以防止液体回流;
第三点是使用潮湿腐蚀性气体。潮湿腐蚀性气体会使不锈钢生锈,并损坏质量流量控制器的管道。因此,在使用腐蚀性气体之前,需要对气体和质量流量控制器的管道系统进行干燥处理;
第四,使用高腐蚀性、易燃、易爆、有毒及其他危险气体时,切勿忽视安全操作规程。否则可能导致产品损坏及其他更严重的损失。正确使用和安全操作对每位用户都至关重要。
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质量流量控制器可以用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?如何选择密封材料?
质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体。
但需要注意的是,对于腐蚀性气体和特殊气体,必须正确选择型号和密封材料。
订购时,用户需要向供应商特别说明所使用的气体类型,以避免因密封材料选择错误而造成重大损失。
通常,气体质量流量控制器中与工作气体接触的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料。密封材料分为两类:金属密封和橡胶密封。
金属密封的材料通常为耐腐蚀材料,例如不锈钢、金或镍。
原则上,采用金属密封的MFC可用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特殊气体。
对于强腐蚀性气体,例如三溴化硼、三氯化硼、氟化氢以及MOCVD工艺中使用的金属氧化物气体,建议使用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高,因此在要求不高的场合通常使用橡胶密封的MFC。
如无特殊说明,所有MFC均采用氟橡胶密封。氟橡胶可用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体。例如,可用于氯化氢等卤代干燥气体。
某些特殊腐蚀性气体需要使用特殊的橡胶。
氨气——需要使用耐氨橡胶,例如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁腈橡胶。有机溶剂蒸汽(丙酮、甲苯等)——需要使用硅橡胶。三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要使用全氟橡胶。
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吴鹏出生于1980年,是一位备受尊敬且成就卓著的男性工程师,在自动化领域拥有丰富的经验。凭借20多年的行业经验,吴鹏在学术和工程领域都做出了卓越的贡献。
在其职业生涯中,吴鹏参与了许多国内外工程项目。他最著名的项目包括炼油厂智能控制系统的开发、石化厂尖端分布式控制系统的设计以及天然气管道控制算法的优化。





