Gas mass flow controller

气体质量流量控制器基于热式质量流量测量原理,并带有控制阀。微型气体流量控制器(MFC)用于精确测量和控制气体的质量流量。

气体质量流量控制器的特点

  • 微型气体质量流量计的标准最小流量为 2ml/min。氯气、空气和压缩空气均可达到此流量。某些低 C.F 系数的气体甚至可以测量更低的流量。
  • 气体质量流量计的标准精度为 0.5%。读数精度为 1.0%,满量程精度为 0.5%,重复性为 0.2%。控制器的精度为 1.0%(满量程)。
  • 流量计的量程比为 1:100。
  • 控制器的阀门控制范围为 1:50。
  • 最小测量量为 2sccm,最大测量量可达 3000slm。
  • 流量计和控制器的基材均为 SS316L 不锈钢。与气体接触的部件也为 SS316L 不锈钢。它可以测量一些弱腐蚀性气体。
  • 流量计和控制器的泄漏率为 1×10⁻⁶ SCCSHe。
  • 密封材料为氯丁橡胶、氧丁二烯橡胶。

气体质量流量控制器规格

介质适用于气体,弱腐蚀性气体。例如:氮气、空气,不适用于氨气
精度+/-1.5%F.S
线性度+/-0.5%F.S
重复性+/-0.2%F.S
响应时间<2.0S
通讯方式RS232/485, MODBUS
输出0~5V, 1~5V, 4-20mA
供电方式+/-15VDC,24VDC
温度0~50℃
工作压力压差:0.1~0.5MPa
最大耐压3Mpa/10Mpa
电气接口DB15接口
泄漏率1×10·SCCSHe
温度系数+/-0.025%F.S/℃C
基材SS316L
密封材料氟橡胶、氯丁橡胶、丁腈橡胶
连接器8,010,012

Extended reading: Cryogenic Liquid Nitrogen Flowmeters

气体质量流量控制器工作原理

质量流量计采用毛细管传热测温原理测量气体的质量流量(无温度和压力补偿)。

传感器加热桥测得的流量信号被送至放大器进行放大。放大后的流量测量电压与设定电压进行比较。

然后放大差值信号以控制调节阀。通过闭环控制控制流量,使其等于设定流量。分流器决定主通道的流量。

下图为质量流量控制器(MFC)及流量指示器的工作原理图:

Gas mass flow controller working principle

控制器输出的流量检测电压与流经通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为满量程的2%~100%(量程比 为50:1)。流量分辨率为满量程的0.1%。

注意:当气体质量流量控制器的“阀门控制”线路设置为“清洗”位置时,它也可以用作气体质量流量计。此时,流量检测输出电压的值可能超过 10VDC。

需要注意的是,一旦输出电压超过 5VDC,流量检测电压与实际流量将不再呈线性关系。

清洗时,流量显示不准确。此外,流量可能会增加,而显示值可能会降低。但这不会损坏质量流量控制器。

延伸阅读:质量流量与体积流量

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工艺液体质量流量控制器 -Sino-Inst

液体质量流量控制器 能够快速、准确地测量工艺液体的体积流量/质量流量。

  • 产品编号:液体质量流量控制器
  • 产品品牌:Sino-Inst
  • 产品货币:美元
  • 产品价格:900
  • 价格有效期至2099-09-09
  • 产品库存状态:PreOrder
Liquid mass flow controller

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常见的流量控制器类型(MFC)

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了解更多:转子流量计 – 变面积流量计。适用于液体和气体的体积流量测量和控制。

  1. 差压式流量计

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  1. 涡街流量计

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  1. 涡轮流量计

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  1. 超声波流量计

它通过检测流体流动对超声波束(或超声波脉冲)的影响来测量流量。

  1. 电磁流量计

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  1. 热式流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件:速度传感器和 温度 传感器。

它们能够自动补偿和校正气体温度的变化。

仪器的电加热部分将速度传感器加热到高于工作温度的固定值。速度传感器与测量工作温度的传感器之间形成恒定的温差。

当温差保持恒定时,电加热消耗的能量也可以称为散热量。它与流经的气体质量流量成正比。适用于测量 单一气体 和固定比例的多组分气体。

  1. 科里奥利流量计

其原理是利用流体在振动管中流动时产生的科里奥利力。通过直接或间接测量该力来获得流体的质量流量。

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常见问题

我们通常所说的质量流量控制器,其全称为热式气体质量流量控制器,简称MFC。

质量流量计的全称为 热式 气体质量流量计,简称MFM。

它们都是精确测量气体流量的仪器。其测量值不会因温度或压力的变化而产生误差。

质量流量计是一种用于测量和监测的仪表。质量流量控制器不仅具备质量流量计的功能,更重要的是,它还可以自动控制气体流量。也就是说,用户可以根据实际情况设定流量。流量控制器会自动将流量保持在设定值。即使系统压力波动或环境温度变化,流量也不会偏离设定值。

简而言之,质量流量控制器是一种稳流装置。它是一种自动控制气体流量的稳定装置,可以手动设置,也可以连接计算器使用。

一般来说,如果仅需测量或监测气体流量,质量流量计即可满足要求。

而如果需要控制气体流量,则需要质量流量控制器。

在某些测量场合,两者均可使用。例如,毛细管流量测量时,在恒压下测量流量时,使用质量流量计;在恒压下测量流量时,则需要质量流量控制器。

需要注意的是,当质量流量控制器处于清洁状态时,也可作为质量流量计使用,只是压降会比普通质量流量计更大。

了解更多:微型流量变送器的优缺点

sccm:标准毫升/分钟;slm:标准升/分钟

标准条件:温度 – 273.15K (0 ℃),压力 – 101325Pa (760mmHg)

F.S (满量程) 指满量程

热式质量 流量控制器/质量流量计直接测量 气体的质量流量。密度动态检测。无需补偿。也可直接测量体积流量。

体积流量计只能直接测量体积流量。如果要测量质量流量,则需要在配置时指定一个固定的密度值。这样就无法动态检测密度。精度较低。

质量流量控制器/流量计测量不受温度和压力影响的气体。

质量流量控制器 (MFC) 不仅具有质量流量计的功能,而且还能自动控制气体流量。流量可根据实际需要进行设置。

MFC会自动将流量保持在设定值。即使系统压力波动或环境温度变化,流量也不会偏离设定值的误差范围。

质量流量控制器可用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体。

但使用腐蚀性气体和特殊气体时需格外注意。正确选择型号和密封材料至关重要。

订购时,用户需要说明所用气体,以避免因选错型号或密封材料而造成重大损失。

通常,质量 流量控制器与工作气体接触的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料。密封材料分为金属密封和橡胶密封两类。金属密封材料一般为耐腐蚀材料,例如不锈钢、金或镍。

原则上,采用金属密封的质量流量控制器可用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特殊气体。

对于强腐蚀性气体,如三溴化硼、三氯化硼、氟化氢以及 MOCVD 中使用的金属氧化物气体,建议使用金属密封的 MFC。

更多流量测量解决方案

Sino-Inst 是一家生产气体质量流量控制器的制造商,其产品用于气体测量。该控制器具有累加功能,可分别以定时累加或定量累加模式运行。当达到设定的累加量后,流量控制器将自动停止,方便各种实验研究场合的应用。

Sino-Inst 气体质量流量控制器不仅具备质量流量计的功能,更重要的是,它能够自动控制气体流量。也就是说,用户可以根据需要设定流量,MFC会自动将流量保持在设定值。即使系统压力波动或环境温度变化,流量也不会偏离设定值。

该质量流量控制器是一种稳流装置,可通过手动设置或连接计算机进行自动控制。

Sino-Inst 气体质量流量控制器的测量范围很广,从满量程5ml/min到1500升/min。此外,该产品可测量多种气体介质,适用于氮气、空气、二氧化碳、氢气等多种气体。根据通讯方式的不同,产品分为0-5V或4-20mA模拟型和RS485 Modbus数字型。产品的耐压根据流量分为10MPa、5MPa和3MPa三种规格。

Sino-Inst 的全体员工都经过专业培训,能够确保满足每位客户的需求。如果您在产品方面需要任何帮助,无论是气体质量流量控制器、液位传感器还是其他设备,请随时联系我们。

气体质量流量控制器——用于微型气体流量测量和控制
Gas mass flow controller

气体质量流量控制器基于热式质量流量测量原理,并带有控制阀。微型气体流量控制器(MFC)用于精确测量和控制气体的质量流量。

Product SKU: Gas mass flow controller

Product Brand: Sino-Inst

Product Currency: USD

Product Price: 900

Price Valid Until: 2099-09-09

Product In-Stock: PreOrder

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