MEMS压力传感器是采用MEMS技术制造的压力传感器。MEMS压力传感器包括硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器。
MEMS压力传感器是最早开发的微型传感器之一，市场份额较大。MEMS压力传感器可分为压阻式和电容式两种类型，两者均为硅芯片上的微机械电子传感器。MEMS压力传感器采用类似集成电路的设计技术和制造工艺，可实现高精度、低成本的大规模生产，从而使压力控制变得简单、易用且智能化。与传统的机械式压力传感器相比，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大不超过一厘米。与传统的“机械式”制造工艺相比，其性价比大大提高。
Sino-Inst 提供多种用于工业压力测量的 MEMS 压力传感器。如有任何疑问，请联系我们的销售工程师。
特色MEMS压力传感器
MEMS压力传感器的特点
- 采用德国MEMS技术的单晶硅传感器
- 采用专利技术的集成式传感器设计
- 两线制系统，4~20mA模拟输出，支持HART®数字 通信 或四线制系统，RS485输出（MODBUS协议）
了解更多：什么是压力传感器以及它的工作原理？
MEMS压力传感器的技术规格
| 量程 | 最小量程 | DP | 量程和传感器极限值 (kPa) | 最小量程 | GP | 量程和传感器极限值(kPa) | 最小量程 | AP | 量程和传感器极限值(kPa) |
| 编号 | （kPa） | 上限范围 (URL) | 下限范围 (URL) | （kPa） | 上限范围 (URL) | 下限范围 (URL) | （kPa） | 上限范围 (URL) | 下限范围 (URL) |
| 1 | 0.1 | 1 | -1 | / | / | / | / | / | / |
| 2 | 0.2 | 5 | -5 | / | / | / | / | / | / |
| 3 | 0.2 | 20 | -20 | 0.2 | 20 | -20 | / | / | / |
| 4 | 0.5 | 50 | -50 | 0.5 | 50 | -50 | 0.5 | 50 | 0 |
| 5 | 2 | 200 | -200 | 2 | 200 | -100 | 2 | 200 | 0 |
| 6 | 5 | 500 | -500 | 5 | 500 | -100 | / | / | / |
| 7 | 20 | 2000 | -500 | 20 | 2000 | -100 | 20 | 2000 | 0 |
| 8 | 100 | 10000 | -500 | 100 | 10000 | -100 | 100 | 10000 | 0 |
| 9 | / | / | / | 400 | 40000 | -100 | / | / | / |
- 传感器类型：德国MEMS技术单晶硅传感器
- 量程比：100:01:00
- 精度等级：0.075、0.1、0.2
- 稳定性：36个月误差为最大量程的±0.2%
- 温度影响：
- 0.075级：零点或量程误差为最大量程的±0.15% / 28℃
- 0.1级：零点或量程误差为最大量程的±0.2% / 28℃
- 0.2级：零点或量程误差为最大量程的±0.25% / 28℃
- 输出信号：两线制，4～20mA直流，HART®协议数字信号；或四线制，RS485输出（MODBU S协议）
- 计量认证：CMC
- 防爆认证：防爆型Exd IIC T6 Gb
本质安全型：Exia IIC T6 Ga 或 Exib IIC T4 Gb - 防护等级：IP67
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MEMS是什么意思？
MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems（微机电系统）的缩写。MEMS是美国的名称，在日本被称为Micromachine，在欧洲被称为Microsystem。MEMS指的是将微机械、微传感器、微执行器、信号处理和控制电路以及接口、通信和电源等集成到一个微型器件或系统中，并实现大规模生产的技术。MEMS是随着1653年半导体集成电路微加工技术和内部超精密机械加工技术的发展而发展起来的。目前，MEMS加工技术也被广泛应用于微流控芯片和合成生物学芯片集成等实际实验室技术流程中。
什么是MEMS压力传感器？
MEMS压力传感器是采用MEMS技术制造的压力传感器。
MEMS压力传感器是最早开发的微型传感器之一，市场份额较大。目前其应用领域已大大扩展，远远超出了传统的工业变送器等领域。MEMS压力传感器通常采用体硅工艺制造，部分采用表面硅工艺制造。MEMS压力传感器可分为压阻式和电容式两种。与其他传感器类似，MEMS压力传感器在工作过程中 将压力转换为电信号输出。
延伸阅读：数字压力传感器-RS485
压阻式MEMS压力传感器
压阻式MEMS压力传感器采用高精度半导体电阻应变片构成惠斯通电桥，作为力-电转换测量电路。它具有测量精度高、功耗低、成本极低等优点。
电容式MEMS压力传感器
电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造膜片阵列。上下膜片构成一组电容式压力传感器。压力会使上膜片向下移动，从而改变上下膜片之间的间距。阵列间距的变化也会改变膜片间的电容，即Δ压力 = Δ电容。
了解更多：电容式压力传感器
MEMS压力传感器的工作原理是什么？
MEMS压阻式压力传感器采用固定在其外缘的圆形应力杯硅膜内壁。利用MEMS技术，在应力最大的表面上直接刻蚀四个高精度半导体应变片，构成惠斯通电桥，作为力-电转换测量电路。压力物理量直接转换为电能，测量精度可达0.01%～0.03% FS。
您可能还想了解：压力变送器的工作原理是什么？
MEMS电容式压力传感器利用MEMS技术在硅芯片上制作隔膜阵列。上下两个隔膜构成一组电容式压力传感器。上部MEMS电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上形成网格状结构，上下两个横向隔膜构成一组电容式压力传感器。压力作用下，上隔膜向下位移，从而改变上下两个水平隔膜之间的间距。它还会改变电路板之间的电容大小。
MEMS压力传感器工作原理视频：
视频来源：https://www.youtube.com/watch?v=juf4d3sgOJw
MEMS压力传感器的应用
- 在汽车行业的应用
MEMS压力传感器在汽车领域的一项新应用是变速器系统压力传感。它通常用于自动变速器，但也用于新型双离合变速器系统。德国制造商推出了一种MEMS解决方案，该方案使用油来保护硅膜，使其能够承受高达70巴的压力。博世几年前也对MEMS压力传感器进行了重大改进。当时，多孔硅被用于制造高可靠性的MEMS器件。这些器件已被应用于目前的侧气囊系统中。 - 在医疗领域的应用
压力传感器主要用作外科手术中一次性使用的低成本导管。但它们也用于昂贵的设备中，例如持续气道正压通气（CPAC）机中的压力和差流传感。 - 在工业领域的应用
MEMS压力传感器的主要应用包括暖通空调（HVAC）、水位 测量以及各种工业过程和控制应用。例如，除了精确测量高度和气压外，飞机还使用传感器来监测发动机、襟翼和其他部件。
延伸阅读：什么是压力传感器？
常见问题
更多压力测量解决方案
Sino-Inst 提供超过 20 种 MEMS 压力传感器。其中约 50% 为 4-20mA 低压传感器，40% 为 差压表，20% 为 隔膜式压力变送器，另有 20% 为 4-20mA 差压变送器。
我们提供多种 MEMS 压力传感器选项，例如免费样品和付费样品。Sino-Inst 是一家全球知名的压力传感器供应商和制造商，总部位于中国。
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吴鹏出生于1980年，是一位备受尊敬且成就卓著的男性工程师，在自动化领域拥有丰富的经验。凭借20多年的行业经验，吴鹏在学术和工程领域都做出了卓越的贡献。
在其职业生涯中，吴鹏参与了许多国内外工程项目。他最著名的项目包括炼油厂智能控制系统的开发、石化厂尖端分布式控制系统的设计以及天然气管道控制算法的优化。